掃描電子顯微鏡—觀察微觀世界的“放大鏡”
來源:科技發(fā)展處 發(fā)布時(shí)間: 2020-08-11
掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope,SEM) 是一種介于透射電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡之間的觀察手段。它是用細(xì)聚焦的高能電子束轟擊樣品表面,通過電子與樣品相互作用產(chǎn)生二次電子(SE)、背散射電子(BSE)等信號,這些信號來自樣品的特定發(fā)射區(qū)域,并隨表面形貌的不同而變化。通過對這些物理信號收集、放大、再成像可以獲得樣品表面或斷面的形貌信息?,F(xiàn)在SEM都能跟能譜(EDS)聯(lián)用,對樣品成分進(jìn)行定性和半定量分析。SEM是顯微結(jié)構(gòu)分析的主要儀器,已經(jīng)廣泛應(yīng)用于材料、冶金、礦物、生物學(xué)等領(lǐng)域。
膜分離材料的微觀結(jié)構(gòu)決定了其宏觀性能,對膜表面微觀形貌的分析是高性能膜材料研發(fā)的基礎(chǔ)。膜技術(shù)與應(yīng)用研究室近期購置了一臺配有EDS的臺式SEM(圖1),最高可放大到30萬倍。該SEM配備SE和BSE兩種探頭,可分別針對材料的立體形貌、元素二維分布進(jìn)行觀測。圖2是該設(shè)備拍攝的RO膜表面形貌及元素成分。另外,針對非導(dǎo)電樣品,該設(shè)備可以在低真空度下進(jìn)行拍攝。