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來(lái)源:科技發(fā)展處 發(fā)布時(shí)間: 2021-09-15
高分辨X射線三維顯微CT系統(tǒng)是具有超高分辨率的無(wú)損傷三維全息顯微成像設(shè)備。該類設(shè)備是采用不同角度X光顯微成像技術(shù),形成一系列樣品透視圖,再結(jié)合計(jì)算機(jī)三維數(shù)字解析和重構(gòu)技術(shù),得到樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)的高分辨率三維數(shù)字圖像。通過(guò)可擴(kuò)充軟件,實(shí)現(xiàn)樣品內(nèi)部亞微米尺度缺陷、孔隙率統(tǒng)計(jì)以及樣品高精度尺寸測(cè)量、局部虛擬剖切測(cè)量等功能。
海水淡化技術(shù)研究室近期購(gòu)置的高分辨X射線三維顯微CT系統(tǒng)(圖1),采用最先進(jìn)的德國(guó)X光源和美國(guó)成像系統(tǒng),并集成精度0.5μm的控制定位系統(tǒng),可兼顧材料微觀分析和樣品宏觀尺寸精確測(cè)量?jī)煞矫嫘枨螅罡呖臻g分辨率可達(dá)0.5μm,對(duì)工件結(jié)構(gòu)尺寸的測(cè)量精度可達(dá)(5+L/100)μm,其中L為工件最大外形尺寸(單位為mm)。該設(shè)備的工業(yè)應(yīng)用廣泛,但在海水淡化中方面應(yīng)用尚處于起步階段,目前可進(jìn)行金屬和非金屬樣品的內(nèi)部亞微米缺陷、孔隙結(jié)構(gòu)分析以及復(fù)雜工件內(nèi)外部結(jié)構(gòu)高精度測(cè)量、非標(biāo)加工件尺寸精確復(fù)核等,后續(xù)還要根據(jù)科研需求開(kāi)發(fā)更多新功能。圖2是設(shè)備的實(shí)物圖和測(cè)試案例。